上游設(shè)備與材(cái )料供應(yīng)商同樣負(fù)(fù )有重要責(zé)任。Applied Materials、ASML、東京電(diàn )子等半導(dǎo)體設(shè)備巨頭提(tí )供(gòng )的生產(chǎn)工具決(jué )定(dìng )了制造工藝的(de )能效上限,但推動(dòng)綠色制造技(jì )術(shù)方面(miàn )的創(chuàng)新明顯不(bú )足。例如(rú ),化學(xué)材料供(gòng )應(yīng)商Solvay SA雖已開發(fā)出一些污染化(huà )學(xué)品的替代品,但全氟化碳等強(qiáng)效(xiào )溫室氣體仍然在半導(dǎo)體(tǐ )制造(zào )中廣泛使用。
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