特種氣體替(tì )代是半(bàn )導體制造業(yè)特有的減排杠桿。目前芯片(piàn )生產(chǎn)中普遍(biàn )使用的全氟化碳等氣(qì )體(tǐ ),其溫室效應(yīng )是二氧化碳的數(shù)(shù )千倍。英特爾發(fā)起(qǐ )了一項跨行業(yè)(yè )的研發(fā)倡議,目標是(shì )尋找全球(qiú )變暖效應更低且更環(huán)保的化學品,并(bìng )開發(fā)新的減排設(shè )備(bèi )。理(lǐ )想情況下,半導體產(chǎn)業(yè)應當建立類似蒙特利爾議(yì )定書(shū )的多邊機制,共同淘汰高GWP氣(qì )體(tǐ )的(de )使用。
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