上游(yóu )設備與材料供應商同樣負有重要責任。Applied Materials、ASML、東京(jīng )電(diàn )子等半導(dǎo )體設備巨(jù )頭(tóu )提供的生(shēng )產(chǎn)工具決定了制造(zào )工藝的能(néng )效上限,但推動綠色制(zhì )造技(jì )術方面的創(chuàng)新明顯不足。例如,化學材料供應商Solvay SA雖已(yǐ )開發(fā)出一些污染化學品的替(tì )代(dài )品,但全氟化碳等強效溫室氣體仍然(rán )在(zài )半導體制造中廣泛使(shǐ )用。
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