上游設(shè)備與(yǔ )材料供應(yīng)商同樣負(fù)有(yǒu )重要責(zé)任。Applied Materials、ASML、東京電子等半導(dǎo)體設(shè)備巨(jù )頭提供的生產(chǎn)工具(jù )決定(dìng )了制造工藝的能效上限(xiàn ),但推動(dòng)綠色制(zhì )造技術(shù)方(fāng )面的創(chuàng)新明(míng )顯不(bú )足。例如(rú ),化學(xué)材料供應(yīng)商Solvay SA雖已開發(fā)出一些污染化學(xué)品的替代(dài )品,但全(quán )氟化碳等(děng )強(qiáng)效溫室氣(qì )體仍然(rán )在半導(dǎo)體(tǐ )制造(zào )中廣泛使用。
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