在工藝排放方面,半導(dǎo)體制造中(zhōng )使(shǐ )用的特種氣體具有極強的溫室效應(yīng)。據(jù)英特爾披(pī )露的(de )數(shù)據(jù),全氟化(huà )碳等氣體占其2020年直接溫(wēn )室氣體(tǐ )排(pái )放(范(fàn )圍1)的近一半,相當(dāng)(dāng )于197萬(wàn )噸二氧化碳。這些氣體的全球(qiú )變暖(nuǎn )潛能值(GWP)是二氧化碳的6500-9200倍,雖然排放量不大(dà ),但氣候影響卻(què )極(jí )為(wéi )顯著。
版權(quán)所有 ? 2025 青龍影院 保留所有權(quán)利