特種氣體替(tì )代是半導(dǎo)體制造業(yè)特有的減排杠桿。目前(qián )芯片(piàn )生(shēng )產(chǎn)中(zhōng )普(pǔ )遍(biàn )使用的全氟化碳等氣體,其溫室效(xiào )應(yīng)是二氧化碳的數(shù)千倍。英(yīng )特爾發(fā)起了(le )一項(xiàng)跨行業(yè)的研發(fā)倡議,目標(biāo)是尋找(zhǎo )全球變暖效應(yīng)更低且(qiě )更環(huán)保的化學(xué)品,并開發(fā)新(xīn )的減排(pái )設(shè)(shè )備。理想(xiǎng )情況下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)(yīng )當(dāng)建立類似(sì )蒙特利爾議定(dìng )書的多邊機(jī)制(zhì ),共同淘(táo )汰高GWP氣體的使用。
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