在(zài )工藝(yì )排放方面,半導(dǎo)體制造中(zhōng )使用的(de )特種氣體具有極強(qiáng)的溫室效應(yīng)。據(jù)英(yīng )特(tè )爾披露的數(shù)據(jù),全氟化碳(tàn )等氣體占其2020年(nián )直接溫(wēn )室氣(qì )體排放(范圍1)的近一半,相當(dāng)于197萬(wàn)噸(dūn )二氧化碳。這些氣體的全球變暖潛能值(GWP)是二氧(yǎng )化(huà )碳的6500-9200倍,雖(suī )然(rán )排(pái )放量不大,但氣候影響卻極為顯著。
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