在(zài )工藝排放方(fāng )面,半導(dǎo)體制造中使用的特種(zhǒng )氣體具有極強(qiáng)(qiáng )的溫室效應(yīng)。據(jù)英(yīng )特爾披露的(de )數(shù)(shù )據(jù),全氟化碳等氣體占其2020年直接溫室氣體(tǐ )排放(范圍1)的近一半,相當(dāng)于197萬噸二氧化碳。這些氣體的全球(qiú )變暖潛能值(zhí )(GWP)是二(èr )氧化碳的6500-9200倍,雖然排放量不大,但氣候影(yǐng )響卻極(jí )為顯(xiǎn )著。
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