特種氣(qì )體替代是半導(dǎo)體制造業(yè)特有的減(jiǎn )排杠桿。目前(qián )芯片生產(chǎn)中普遍使用(yòng )的全氟化碳等氣體,其溫室效應(yīng)是二氧化(huà )碳的(de )數(shù)(shù )千(qiān )倍。英(yīng )特爾發(fā)起了一項(xiàng)跨行業(yè)的研發(fā)倡議,目標(biāo)是尋找全球(qiú )變暖效應(yīng)更低(dī )且更環(huán)保的化學(xué)品,并開(kāi)發(fā)(fā )新的減(jiǎn )排(pái )設(shè)備。理想情(qíng )況(kuàng )下,半導(dǎo)體(tǐ )產(chǎn)業(yè)應(yīng)當(dāng)建立類(lèi)似蒙(méng )特利爾議定書(shū)的多邊機(jī)制,共同淘(táo )汰高GWP氣體(tǐ )的使(shǐ )用。
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