上游設(shè)(shè )備與材料(liào )供應(yīng)商同樣(yàng )負(fù)有重要責(zé)任。Applied Materials、ASML、東京電子等半導(dǎo)體設(shè)(shè )備巨頭提供的生產(chǎn)(chǎn )工具決定了制造工藝(yì )的能效上(shàng )限,但推動(dòng)綠色(sè )制(zhì )造技術(shù)方面的(de )創(chuàng)新明顯不足。例如,化學(xué)(xué )材料供應(yīng)商Solvay SA雖已開(kāi)(kāi )發(fā)出一(yī )些污染(rǎn )化學(xué)(xué )品的替代品,但全氟化碳等強(qiáng)效溫室氣體仍然在半導(dǎo)體制造中廣泛使用。
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