特種氣體替(tì )代是半導(dǎo )體制造業(yè)特(tè )有的減排杠桿。目(mù )前芯片生產(chǎn)中普遍使用的全氟化碳等氣體(tǐ ),其(qí )溫室效應是二氧化碳的(de )數(shù)千倍。英特爾發(fā)起了(le )一項跨(kuà )行業(yè)的研發(fā)倡(chàng )議,目標(biāo )是尋找(zhǎo )全(quán )球變暖效應更低且更環(huán)(huán )保的(de )化學品,并開發(fā)新的減排(pái )設備(bèi )。理(lǐ )想情(qíng )況下,半導體產(chǎn)業(yè)應當建立類似蒙特利爾議定書的多邊機制,共同淘汰高GWP氣(qì )體的使用(yòng )。
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