在(zài )工藝排放方面,半導(dǎo)體(tǐ )制造中(zhōng )使用的特種氣體(tǐ )具有(yǒu )極強(qiáng)的溫室效應(yīng)。據(jù)(jù )英特爾(ěr )披露的數(shù)據(jù),全氟化碳等氣體占其2020年直接溫室氣體排放(fàng )(范圍1)的近一半,相當(dāng)于197萬噸二氧化碳。這些氣體的(de )全球變暖潛能值(GWP)是二(èr )氧化碳的(de )6500-9200倍,雖然(rán )排(pái )放量不大,但(dàn )氣候影(yǐng )響(xiǎng )卻極為顯著。
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