上游(yóu )設(shè)備與(yǔ )材料供應(yīng)商(shāng )同樣負有(yǒu )重要責(zé)(zé )任(rèn )。Applied Materials、ASML、東京(jīng )電(diàn )子等(děng )半導(dǎo)體設(shè)備巨頭提供(gòng )的生產(chǎn)工具決定了制造工(gōng )藝的能效(xiào )上限,但(dàn )推動綠色制造技術(shù)方面的創(chuàng)新明(míng )顯不足。例如,化學(xué)材料(liào )供應(yīng)商Solvay SA雖已(yǐ )開發(fā)出一些污染化學(xué)(xué )品的替代品,但全氟化碳等強效溫室氣體(tǐ )仍然在半導(dǎo)體制造中(zhōng )廣泛使(shǐ )用。
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