在(zài )工藝排(pái )放方(fāng )面,半導(dǎo)體制(zhì )造中使用的特種氣體具有極強(qiáng)的溫室效應(yīng)。據(jù)英特爾披露的數(shù)據(jù),全氟化(huà )碳等氣體(tǐ )占其(qí )2020年直接(jiē )溫室(shì )氣體排放(范圍1)的近一(yī )半(bàn ),相當(dāng)于197萬噸二氧化碳。這(zhè )些氣(qì )體的全球變暖(nuǎn )潛能值(GWP)是二氧化碳的6500-9200倍,雖然排(pái )放量不大,但氣候影響卻極為顯著(zhe )。
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